中国科学家正在江苏苏州建设世界首个集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置——纳米真空互联综合实验站。有了它，科学家未来就有可能制造出体积更小、运算速度更高的计算机，以及更加智能的机器人。
科研人员在建设中的纳米真空互联综合实验站调试设备 新华社发
“这个实验装置是在类似太空一样的全真空环境下的纳米器件研发平台，是目前世界上最大的真空互联科研装置。我们探索的是未来纳米器件制造的新技术。”中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站副总指挥丁孙安说。
最终目标 建500米超高真空管道
丁孙安指出，实验站力图通过超高真空条件下的互联集成和若干重大项目验证，突破现有仪器设备的功能限制，实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应，为科研和战略性新兴产业发展提供先进的开放平台。
据介绍，纳米真空互联综合实验站建设经费3.2亿元，预计2018年建成。一期建成后将有100米真空管道，连接30多台设备。
据丁孙安介绍，纳米真空互联实验站最终目标是建成总长约500米的超高真空管道，将上百台用于材料生长、器件制备、测试分析的大型仪器设备互联一起，实现样品在不同设备之间传送时其表面不被氧化、沾污，不被外界大气环境所破坏，总投资约15亿元。
“未来电子元器件将发展到纳米级，也就是纳电子，器件尺寸越来越小，集成度越来越高，可以提高器件性能。但是那么小的器件以目前的工艺还有很多效应无法解决，不能完成新型器件的制造。所以未来生产纳米甚至以下级别的器件需要一种全新的技术路线。”丁孙安说。
